一种基板扫边处理系统及基板扫边处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202011550529.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112894592A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112894592A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B24B1/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24B9/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 古海裕;申屠江民;王连彬;祝宇;许亮;赖振风 | 申请（专利权）人 | 浙江莱宝科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 321016浙江省金华市婺城区涌雪街333号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于基板加工技术领域，更具体地说，是涉及一种基板扫边处理系统及基板扫边处理方法。通过控制待扫边基板进行旋转运动，同时，控制抛光轮沿单一直线上的来回方向进行往复运动完成每次扫边动作，更容易控制抛光轮每次扫边切入待处理基板的切入量相同，同时保证每次扫边动作的稳定性，从而有效地解决了小片型基板进行扫边处理时难以确保边缘的平整性的技术问题，提升了基板边缘的平整性和稳定性。 |
