一种基板清洁装置
基本信息
| 申请号 | CN202023165271.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214321011U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214321011U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | B08B1/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 申屠江民;王连彬;祝宇;乔其爽 | 申请（专利权）人 | 浙江莱宝科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 321016浙江省金华市婺城区涌雪街333号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种基板清洁装置，包括清洗台、洗液槽、第一管道，所述清洗台上设有多条传动辊和至少一个清洗滚刷，所述第一管道前端连接洗液槽，末端设有喷淋机构，在平板清洗机前端对抛光后基板表面残余的抛光粉、凝胶残留进行有效地去除，提升原有的平板清洗能力，确保抛光基板表面清洁度满足后续镀膜要求和平板加工要求。 |
