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真空度在线检测及其补偿系统

基本信息

申请号 CN201710804953.7 申请日 -
公开（公告）号 CN107560786A 公开（公告）日 2018-01-09
申请公布号 CN107560786A 申请公布日 2018-01-09
分类号 G01L21/00(2006.01)I;F04B35/04(2006.01)I;F04B37/14(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 钟晓 申请（专利权）人 成都倍特科技有限责任公司
代理机构 - 代理人 -
地址 610017 四川省成都市高新区科技工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种真空度在线检测及其补偿系统，包括真空度检测系统以及真空度补偿装置，所述真空度检测系统包括数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞、历史数据曲线生成模拟器、历史数据曲线分析处理器；通过检测模块实时检测真空设备的真空度，历史数据曲线生成模拟器生成真空度的实时曲线，历史数据曲线分析处理器根据曲线的走势分析该设备是否已经出现密封性能下降的问题，并计算出该设备的真空度何时会出现真空度不达标，从而做出相应的解决措施；为了解决真空度随时间下降的问题，通过控制电机调节真空度补偿腔内的活塞，对该设备进行抽真空操作，解决了真空设备真空度随时间衰减的问题，这里的衰减是指正常衰减。