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真空度在线检测系统

基本信息

申请号 CN201310074987.7 申请日 -
公开（公告）号 CN103196628A 公开（公告）日 2013-07-10
申请公布号 CN103196628A 申请公布日 2013-07-10
分类号 G01L21/14(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 郑文宸;钟骁;段宇麟;明长友;罗存益 申请（专利权）人 成都倍特科技有限责任公司
代理机构 四川力久律师事务所 代理人 韩洋;熊晓果
地址 610041 四川省成都市高新区科技工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种真空度在线检测系统，包括数据显示模块、数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞；所述真空在线检测密封塞用于获取真空设备内的真空数据；所述真空度在线检测模块用于对真空在线检测密封塞获取的真空数据进行处理得到真空设备真空层的真空度；所述数据采集终端用于获取至少一个真空度在线检测模块送来的真空度数据，并根据该真空度数据与预设真空度参数的比较结果进行报警提示和/或输出控制真空设备关闭信号。本发明真空度在线检测系统实现对真空设备的真空度进行在线检测，可检测多个目标，有效起到安全隐患防范作用，降低设备真空泄露率及事故发生率，保障使用安全。