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真空度在线检测装置

基本信息

申请号 CN201320106977.2 申请日 -
公开（公告）号 CN203083770U 公开（公告）日 2013-07-24
申请公布号 CN203083770U 申请公布日 2013-07-24
分类号 G01L21/14(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 郑文宸;钟骁;明长友;罗存益;邹波 申请（专利权）人 成都倍特科技有限责任公司
代理机构 四川力久律师事务所 代理人 韩洋;熊晓果
地址 610041 四川省成都市高新区科技工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种真空度在线检测装置，包括用于检测真空装置的真空度的密封塞和用于对所述密封塞检测到的数据进行计算处理的检测模块；所述检测模块包括微控制器，所述微控制器连接有通讯电路和电源电路；所述密封塞通过定流电路与所述微控制器连接；所述密封塞依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述密封塞还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接。所述密封塞检测数据经差分放大电路放大后由第二A/D转换电路转换为微控制器可识别的数字信号，微控制器通过检测数据与真空度之间的关系算法计算真空度值，准确获取真空装置真空层的真空度，并将计算的真空度数据进行远程传输，便于实时检测。