一种晶圆类产品电镀上下料设备
基本信息
| 申请号 | CN202110746454.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113337871A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113337871A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I;C25D17/08（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 续振林;李山水;李毅峰;朱石宝;陈妙芳 | 申请（专利权）人 | 厦门柔性电子研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京康盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 高会会 |
| 地址 | 361000福建省厦门市中国（福建）自由贸易试验区厦门片区象屿路97号厦门国际航运中心D栋8层03单元G | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆类产品电镀上下料设备，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同晶圆治具从电镀挂具上解锁并取下。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。 |
