一种钒硅合金靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201510315291.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104894448B | 公开（公告）日 | 2018-07-06 |
| 申请公布号 | CN104894448B | 申请公布日 | 2018-07-06 |
| 分类号 | C22C27/02;C22C1/05;B22F3/115 | 分类 | 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理; |
| 发明人 | 徐玄;顾进跃;顾伟华;李巧梅;马辉 | 申请（专利权）人 | 深圳市威勒科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区深南大道1006号深圳国际创新中心C座15楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与硅粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵的压制设备，操作方便，制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，适用于光学镀膜。 |
