晶片自动定位装置及晶片自动定位方法
基本信息
| 申请号 | CN202111286918.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114179002A | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN114179002A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B25B11/00（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 朱干慧;苏亚青;吕剑 | 申请（专利权）人 | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 戴广志 |
| 地址 | 214028江苏省无锡市新吴区新洲路30号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种晶片自动定位装置及晶片自动定位方法。装置包括：晶片移动通道；机械臂用于沿着晶片移动通道的延伸方向，将晶片从晶片移动通道的一端，移动并装载到位于晶片移动通道另一端的工作台上；光线检测传感幕帘设于晶片移动通道中，光线检测传感幕包括多道在同一平面上的检测光，多道检测光之间相互平行形成检测平面；检测平面垂直于晶片移动通道的延伸方向；晶片在晶片移动通道中的移动过程，能够切断光线检测传感幕帘中至少一道检测光；控制装置；在光线检测传感幕帘中至少一道检测光被切断后，控制装置能够接收到传感信息，并根据传感信息控制机械臂，使得晶片沿着预设移动路径移动。 |
