一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构
基本信息
| 申请号 | CN201721744515.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207646335U | 公开（公告）日 | 2018-07-24 |
| 申请公布号 | CN207646335U | 申请公布日 | 2018-07-24 |
| 分类号 | C30B29/20;C30B35/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 张新峰;周磊峰;徐建;龙安泽;蒋信 | 申请（专利权）人 | 江苏友创晶体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京快易权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杜亚静 |
| 地址 | 226543 江苏省南通市如皋市下原镇兴原路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种大公斤蓝宝石长晶设备的真空系统结构，包括真空管，所述真空管的顶部中心处设置有防爆阀，所述真空管的顶部右侧和底部左侧均设置有六角水管接头，所述真空管的底部左右两侧对称设置有第一真空计，所述真空管的左侧连通有气动高真空挡板阀，所述气动高真空挡板阀的底部设置有冷阱，所述冷阱的底部设置有扩散阀，所述旁管接头的顶部连接有第一气动真空挡板阀，所述四通管的顶部连通有第二气动真空挡板阀。本实用新型结构设计合理，一方面通过设置的冷阱可以防止扩散泵返油和降温，降低由于扩散泵的返油和降温对气动高真空挡板阀的工作造成影响，另一方面运转过程中设置两个真空挡板阀进行微调，便于对抽气工作进行调节作用。 |
