一种超薄聚合物的表面处理方法
基本信息
| 申请号 | CN202011090039.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112210760B | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112210760B | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | C23C14/02(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 廖斌;陈琳;王国梁;罗军;庞盼 | 申请（专利权）人 | 广东省广新离子束科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州圣理华知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡小英;张凯 |
| 地址 | 510663广东省广州市黄埔区光谱东路179号百事高智慧园C栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超薄聚合物的表面处理方法，在真空室内进行，包括将聚合物薄膜固定在放卷轴上，在导向辊的作用下聚合物薄膜运动到冷辊处进行离子束表面处理，表面处理完后在导向辊的作用下继续运动到收卷轴上；所述聚合物薄膜厚度低于5微米；所述离子束表面处理的装置包括离子源系统、电弧系统以及磁控系统，表面处理时聚合物薄膜的温度不高于50℃，处理顺序依次为气体离子源，电弧和磁控溅射。本发明工艺可在任何超薄聚合物表面处理上推广，特别是不耐温的超薄聚合物的表面覆金属膜层，其设备使用寿命高，成本低，能实现大规模的卷对卷生产。而且能同时兼顾聚合物表面电阻率、表面粗糙度、吸水度和抗拉伸性能。 |
