一种离子束沉积设备的冷却辊
基本信息
| 申请号 | CN202011358107.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112481583A | 公开（公告）日 | 2021-03-12 |
| 申请公布号 | CN112481583A | 申请公布日 | 2021-03-12 |
| 分类号 | C23C14/48(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 廖斌;庞盼;王国梁;罗军;陈琳 | 申请（专利权）人 | 广东省广新离子束科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州圣理华知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董觉非;张凯 |
| 地址 | 510663广东省广州市黄埔区光谱东路179号百事高智慧园C栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种离子束沉积设备的冷却辊，涉及离子束镀膜领域。该方案包括中空的辊体，所述辊体由外至内依次包括表面导电层、绝缘导热层以及冷却腔，所述表面导电层携带负电荷，所述冷却腔内循环通入、排出冷却流体，或者在所述冷却腔内设置固体冷却介质，所述辊体还包括支撑轴部，所述支撑轴部与所述绝缘导热层固定。在冷辊表面均匀施加电场，改变系统的电场分布，提高镀膜质量，通过绝缘导热层将冷却腔与表面导电层隔离开，支撑轴部与绝缘导热层固定，将表面导电层与冷却腔、支撑轴隔离，能对薄膜进行冷却，并降低触电的风险，消除安全隐患。 |
