一种金属离子源发射装置
基本信息
| 申请号 | CN202010363614.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111668080A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN111668080A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | H01J37/08 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖斌;欧阳潇;王国梁;欧阳晓平;罗军;庞盼;陈琳;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人 | 广东省广新离子束科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 张琳丽 |
| 地址 | 100875 北京市海淀区新街口外大街19号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种金属离子源发射装置，包括密封连接的陶瓷筒、引出电极室和三个并排设置的阴极，触发电极固定在陶瓷绝缘电极上，阴极靶材固定在间接冷却通道上，限位电极固定在固定电极上，固定电极通过螺扣将间接冷却通道固定在阴极冷却管上，阴极冷却管固定在阴极法兰上，触发接线柱通过导线和触发电极相连；引出电极室中位于阴极正下方设置有引出电极和加速电极，加速电极和引出电极上均设置有引出缝隙。该金属离子源发射装置，能够在一个阳极的情况下，同时让3个阴极进行工作，增大了离子源的照射面积，提高了工作效率、能源利用率；发射源更加紧凑，处理面积更大。 |
