一种LCP基材的离子束金属化方法及其制品

基本信息

申请号 2020111030133 申请日 -
公开(公告)号 CN112281118A 公开(公告)日 2021-01-29
申请公布号 CN112281118A 申请公布日 2021-01-29
分类号 C23C14/22(2006.01)I; 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 廖斌;陈琳;王国梁;罗军;庞盼 申请(专利权)人 广东省广新离子束科技有限公司
代理机构 广州圣理华知识产权代理有限公司 代理人 董觉非;张凯
地址 510663广东省广州市黄埔区光谱东路179号百事高智慧园C栋101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种LCP基材的离子束金属化方法及其制品,其方法包括以下步骤:(1)表面预处理,清洗LCP基材表面;(2)制备过渡层,通过高能离子束系统完成高能金属离子处理,形成金属‑非金属混合层;(3)离子束沉积,通过低能离子束系统沉积低能金属离子,得到金属层,即可获得LCP基材金属板。本发明的高能离子源和低等离子源系统使作用在样品表面的束斑为具有一定能量的带正电的金属离子,沉积效果好,结合力高,即使金属层比较薄也就有非常强的剥离强度,具有广阔的市场应用前景。