一种半导体制造设备和工艺的智能控制系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610835520.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106483942B | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN106483942B | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | G05B19/418（2006.01）I; G06K9/62（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 孙敬玺 | 申请（专利权）人 | 深圳匠韵智能有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 孙敬玺;深圳匠韵智能有限公司 |
| 地址 | 516083 广东省惠州市大亚湾西区科技创新园科技路1号创新大厦裙楼1栋1层804号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种半导体制造设备和工艺的智能控制系统及方法，其中智能控制系统包括数据聚类处理单元、数据分类处理单元、数据标注单元、支持向量机训练及测试验证单元、智能监控单元、持续学习单元；数据聚类处理单元通过K‑均值聚类算法对数据进行预处理,并执行离群判断算法得到离群点候选集；数据分类处理单元通过局部离群因子法对所述离群点候选集进行数据分类处理得到样本数据集；支持向量机训练及测试验证单元用于将样本数据集划分为训练样本集和测试样本集，并利用训练样本集对支持向量机进行训练，得到训练结果，本发明通过基于支持向量机的机器学习建立半导体设备和工艺的智能控制系统，实现对半导体设备和工艺的智能控制。 |
