一种考虑电子束雾化效应的解析布局方法

基本信息

申请号 CN202010329230.8 申请日 -
公开(公告)号 CN111507058A 公开(公告)日 2020-08-07
申请公布号 CN111507058A 申请公布日 2020-08-07
分类号 G06F30/3947 分类 -
发明人 陈建利;黄志鹏 申请(专利权)人 福州立芯科技有限公司
代理机构 福州元创专利商标代理有限公司 代理人 福州立芯科技有限公司
地址 350100 福建省福州市闽侯县南屿镇乌龙江南大道79号信通国际中心3#1303
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种考虑电子束雾化效应的解析布局方法,包括如下步骤:1、布局框架:使用Λ型多层框架来处理布局中的大规模设计,以进行全局布局;2、雾化变化建模:对评估点进行采样,这些评估点均匀分布在整个布局中;利用雾源模型的评估点,通过带有Hermite展开的快速高斯变换估计每个评估点的雾化效果;3、设定一个同时考虑线长优化和雾化变化优化的目标函数;4、通过共轭梯度算法来优化布局线长长度;5、删除重叠的单元格部分,并使标准单元格对齐,以尽可能保留全局布局获得的布局结果;6、详细布局,通过计算交换面积变化系数,以决定是否在选定的标准单元进行交换。该方法有利于优化布局质量,在优化线长的同时减小雾化变化。