一种研磨液回收再利用系统

基本信息

申请号 CN202021821167.1 申请日 -
公开(公告)号 CN213221668U 公开(公告)日 2021-05-18
申请公布号 CN213221668U 申请公布日 2021-05-18
分类号 B01D61/00;B24B57/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 蒋陈峰;蒋虎;胡厚福 申请(专利权)人 冠礼控制科技(上海)有限公司
代理机构 上海精晟知识产权代理有限公司 代理人 杨军
地址 200131 上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种研磨液回收再利用系统,包括废液收集处理装置组合体,废液收集处理装置组合体内部装设有PFA过滤膜组合体,废液收集处理装置组合体顶部的压力测试口处装设有压力传感器,废液收集处理装置组合体底端设有化学品进液口和化学品出液口,化学品进液口处设置的泄漏检测口处装设有泄漏传感器,化学品出液口通过PFA管道分别连接废液收集桶、回收混合桶槽主体,化学品出液口与废液收集桶之间的管道上装设有测量仪器仪表,压力传感器、泄漏传感器、测量仪器仪表分别通过线路连接PLC控制系统;本实用新型操作过程安全可靠,实现全自动操作,可由废液再生新液,减少新液使用量,降低了成本,减少了废水系统处理负荷。