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从硅片切割加工砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法

基本信息

申请号 CN201010132415.6 申请日 -
公开（公告）号 CN101875492B 公开（公告）日 2013-10-09
申请公布号 CN101875492B 申请公布日 2013-10-09
分类号 C01B31/36(2006.01)I;C10M175/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 刘来宝;朱志翔;孙余凭 申请（专利权）人 江苏佳宇资源利用股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 222115 江苏省连云港市赣榆县金山镇金桥路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种从硅片切割砂浆中回收碳化硅的简便化工业方法。步骤一，在切割砂浆中加入稀释剂，以降低体系粘度；步骤二，将降低粘度后的砂浆通过精密过滤装置A进行一级分离，根据硅材料线切割对碳化硅磨料的粒度分布要求设定控制过滤精度，得到固体组份S1；步骤三，对固体组份S1进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干可直接得到可满足硅材料线切割要求的高品质碳化硅；步骤四，对经过一级分离后的砂浆液体，再通过精密过滤装置B进行二级分离，控制过滤精度使得能够截留的最小通过颗粒在2μm以下，得到固体物质S2和分离清液；步骤五，对二级分离所得到进行碱洗、酸洗和清洗，湿料经烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工业场合。