一种铜腐蚀液用生产线及其生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202010716163.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111871294A | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN111871294A | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | B01F13/06(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 殷金虎;李虎宝;李冬明 | 申请（专利权）人 | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 代理机构 | 江阴市权益专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 地址 | 214420江苏省无锡市江阴市华士镇向阳桥堍 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种铜腐蚀液用生产线及其生产方法，所述铜腐蚀液生产方法的生产步骤为：抽真空、加乙酸、加硝酸、加磷酸、加表面活性剂、过滤、检验和储存分装；所述包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）。本发明生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低。 |
