一种高效光刻胶剥离液液面调节装置
基本信息
| 申请号 | CN201920795058.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210015328U | 公开（公告）日 | 2020-02-04 |
| 申请公布号 | CN210015328U | 申请公布日 | 2020-02-04 |
| 分类号 | G03F7/42 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李虎宝 | 申请（专利权）人 | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江阴市化学试剂厂有限公司 |
| 地址 | 214420 江苏省无锡市江阴市华士镇向阳桥堍 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种高效光刻胶剥离液液面调节装置，包括分离箱、分离池以及存储罐,所述分离池位于分离箱端面，所述存储罐位于分离箱内部，分离池与存储罐之间分别通过进液管与出液管相互连通，所述存储罐端面具有液体流入口，所述存储罐内设有活塞，所述分离箱内部设有驱动单元；本实用新型涉结构紧凑，生产过程中可对剥离液的高度实现精确控制，进一步加强了设备的自动化和智能化，提高了生产效率。 |
