玻璃基板颗粒检查系统

基本信息

申请号 CN202120358531.3 申请日 -
公开(公告)号 CN214622198U 公开(公告)日 2021-11-05
申请公布号 CN214622198U 申请公布日 2021-11-05
分类号 G01N15/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 任兴林;张桂龙;钟锟;张愍涛 申请(专利权)人 新疆兴霍光电科技有限公司
代理机构 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 陈庆超
地址 835221新疆维吾尔自治区伊犁哈萨克自治州霍尔果斯市南部工业园区兵团大道9号
法律状态 -

摘要

摘要 本公开涉及一种玻璃基板颗粒检查系统,该玻璃基板颗粒检查系统包括传送装置、驱动装置以及颗粒检查摄像头,传送装置用于沿玻璃基板的长度方向传送玻璃基板,颗粒检查摄像头位于传送装置的上方,颗粒检查摄像头用于检测玻璃基板上的颗粒,驱动装置与颗粒检查摄像头连接并用于驱动颗粒检查摄像头移动;其中,颗粒检查摄像头的移动方向与玻璃基板的宽度方向之间的夹角为α,颗粒检查摄像头的移动速度Vs与玻璃基板的移动速度Vg之间的关系为Vs=Vg/sinα。通过上述技术方案,该颗粒检查摄像头既能拍摄沿玻璃基板宽度方向的颗粒分布图,又能拍摄沿玻璃基板长度方向的颗粒分布图,能高效应对生产中出现的异常。