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一种体声波谐振器的底电极结构及工艺方法

基本信息

申请号 CN202010042966.7 申请日 -
公开（公告）号 CN111200414A 公开（公告）日 2020-05-26
申请公布号 CN111200414A 申请公布日 2020-05-26
分类号 H03H9/02;H03H9/17;H03H3/02 分类 基本电子电路;
发明人 李林萍;盛荆浩;江舟 申请（专利权）人 湖州见闻录科技有限公司
代理机构 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 杭州见闻录科技有限公司
地址 313000 浙江省湖州市康山街道红丰路1366号3幢1219-23
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种体声波谐振器的底电极结构及工艺方法，通过在衬底上制作出空腔，并在空腔上方制作底电极层，在底电极层周围施加绝缘材料层以使得绝缘材料层的表面与底电极层的表面保持平坦，提高压电层的应力一致性，在绝缘材料层和底电极层的表面上制作压电层以使得压电层不接触衬底，减小压电层的应力影响，使器件的机电耦合系数控制在最佳范围，提高谐振器品质因素、器件良率和器件成品的一致性和可靠性，并且使器件的有效谐振面积更大更接近空腔但不超出空腔，可以减小器件尺寸约5％。