微流控芯片的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201810422253.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108465493B | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN108465493B | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | B01L3/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 胡丛余 | 申请（专利权）人 | 上海仁敬生物科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海立群专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨楷;毛立群 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区自由贸易试验区芳春路400号1幢3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种微流控芯片的制造方法,包括以下步骤：步骤S1：准备作为介电层的薄膜；步骤S2：在所述介电层上形成电路层；步骤S3：将由步骤S2得到的薄膜结构与加固层相结合；步骤S4：在步骤S3之后在所述薄膜的未形成有所述电路层的一面上涂布疏水层。本发明工艺简单，降低了成本，且生产的微流控芯片具有良好的性能。 |
