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一种废显影液过滤系统

基本信息

申请号 CN202110298234.9 申请日 -
公开（公告）号 CN113058433A 公开（公告）日 2021-07-02
申请公布号 CN113058433A 申请公布日 2021-07-02
分类号 B01D61/58;G03F7/30 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 胡磊;魏攀龙;施利君;蒋新 申请（专利权）人 苏州晶洲装备科技有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇光华环路32号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种废显影液过滤系统，该废显影液过滤系统中，第一循环过滤装置具有第一过滤腔，第一过滤腔内设置有第一过滤膜，第一过滤膜将第一过滤腔分为第一腔和第二腔，第一腔与供料罐连通，第二循环过滤装置具有第二过滤腔，第二过滤腔内设置有第二过滤膜，第二过滤膜将第二过滤腔分为第三腔和第四腔，第三腔与第二腔连通，第一过滤膜和第二过滤膜均采用全氟硅烷改性的聚醚砜材料制成，回收液收集罐与第四腔连通，反冲洗装置与第二腔和第四腔连通，用于冲洗第一过滤膜和第二过滤膜，废液收集罐与第一腔和第三腔连通。该废显影液过滤系统使用周期长，易清洗，减少更换第一过滤膜和第二过滤膜的频率，降低生产成本。