一种具有药液循环功能的电化学沉积槽
基本信息
| 申请号 | CN202120259410.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214400261U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214400261U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | C03C17/00（2006.01）I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 张军;施利君;陈书良 | 申请（专利权）人 | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州根号专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱华庆 |
| 地址 | 215500江苏省苏州市常熟辛庄镇光华环路32号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种具有药液循环功能的电化学沉积槽，它包括：槽体；喷盘，所述喷盘用于喷射药液以促进药液流动，所述喷盘设置在所述槽体内；循环管，所述循环管中设置有循环泵，所述循环管连接在所述槽体周壁与所述喷盘之间，所述循环组件用于将所述槽体内药液引导至所述喷盘。由于循环管的作用，使槽体内周边的药液通过循环管泵至喷盘中喷射，达到搅拌循环的作用，从而使药液成分及药液温度的均匀性同时得到保障，从而提高电化学沉积工艺质量。 |
