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一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽

基本信息

申请号 CN202120259405.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214400260U 公开（公告）日 2021-10-15
申请公布号 CN214400260U 申请公布日 2021-10-15
分类号 C03C17/00（2006.01）I 分类 玻璃；矿棉或渣棉;
发明人 蒋新;张军;施利君;陈书良 申请（专利权）人 苏州晶洲装备科技有限公司
代理机构 苏州根号专利代理事务所（普通合伙） 代理人 朱华庆
地址 215500江苏省苏州市常熟辛庄镇光华环路32号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽，它包括：槽体；喷盘，所述喷盘用于喷射药液以促进药液流动，所述喷盘设置在所述槽体内，所述喷盘将所述槽体内间隔成至少两个分区，每个所述分区中设置有两个温度传感器；循环管，所述循环管中设置有循环泵，所述循环管连接在所述槽体周壁与所述喷盘之间，所述循环组件用于将所述槽体内药液引导至所述喷盘。由于在每个分区设置两个温度传感器，从而在其中一个温度传感器损坏时仍保证正常运行；由于循环管和喷盘的作用，促进药液流动，促进药液温度匀匀性。最终使药液温度控制更精确。