一种生成低电阻率超纯水的装置

基本信息

申请号 CN202023220606.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214167626U 公开(公告)日 2021-09-10
申请公布号 CN214167626U 申请公布日 2021-09-10
分类号 C02F9/04(2006.01)I;C02F1/68(2006.01)I;C02F103/04(2006.01)N 分类 水、废水、污水或污泥的处理;
发明人 蒋新;李晓波;施利君;宋金林 申请(专利权)人 苏州晶洲装备科技有限公司
代理机构 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 代理人 吕正刚
地址 215500江苏省苏州市常熟市辛庄镇光华环路32号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种生成低电阻率超纯水的装置,包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置,其中,所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口,二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通,所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通,所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连,所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。本申请能够有效地将二氧化碳溶解于超纯水中,并能精确控制超纯水的电阻率,保证超纯水电阻率的高稳定性,从而确保最终产品的良品率。