可开盒即用的蓝宝石晶片清洗工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010039173.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111185433A | 公开（公告）日 | 2020-05-22 |
| 申请公布号 | CN111185433A | 申请公布日 | 2020-05-22 |
| 分类号 | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;H01L21/02;H01L33/00;F26B11/02;F26B3/30 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 高长有;刘敏;陈志敏;张顼 | 申请（专利权）人 | 江苏京晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京行高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏京晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市上黄科技创业园飞跃路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可开盒即用的蓝宝石晶片清洗工艺，包括先用清洗剂、超纯水对蓝宝石晶片多次超声震洗以去除晶片表面的脏污和细小颗粒；其次刷洗晶片以去除晶片表面的大颗粒；然后对晶片喷淋乳化剂以控制晶片表面的吸附状态；再使用有机溶剂喷淋晶片以避免污染物的二次吸附；最后用旋干机烘干晶片后静置并烤干。本发明可使蓝宝石晶片清洗完后进行PSS生产时，在直接使用晶片的情况下得到较高的成品良率。 |
