代替蓝宝石衬底晶片酸洗的清洗工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010039168.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111185432A | 公开（公告）日 | 2020-05-22 |
| 申请公布号 | CN111185432A | 申请公布日 | 2020-05-22 |
| 分类号 | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;H01L21/02;H01L33/00;F26B11/02;F26B3/30 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 高长有;刘敏;陈志敏;张顼 | 申请（专利权）人 | 江苏京晶光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京行高知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏京晶光电科技有限公司 |
| 地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市上黄科技创业园飞跃路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种代替蓝宝石衬底晶片酸洗的清洗工艺，包括先用刷洗去除表面大颗粒，再用乳化剂浸泡控制晶片表面的吸附状态，然后用清洗剂去除晶片表面的脏污，再用含有催化剂的臭氧水清洗去除晶片表面的有机物和金属离子，之后使用清洗剂去除催化剂，最后置于异丙醇内去除晶片表面的亚微米颗粒，降低表面金属离子含量和避免水痕缺陷的产生，同时也避免了传统加热干燥过程中产生的静电，保证晶片表面不被二次污染。本发明的清洗工艺在去除了酸洗工艺的同时，能够提高去除有机物、金属污染物和微粒的效率。 |
