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一种分压垫

基本信息

申请号 CN201921567611.9 申请日 -
公开（公告）号 CN210550375U 公开（公告）日 2020-05-19
申请公布号 CN210550375U 申请公布日 2020-05-19
分类号 B24B37/30;B24B37/34 分类 磨削；抛光;
发明人 高长有;张行富;陈志敏;张顼 申请（专利权）人 江苏京晶光电科技有限公司
代理机构 南京行高知识产权代理有限公司 代理人 江苏京晶光电科技有限公司
地址 213300 江苏省常州市溧阳市上黄科技创业园飞跃路8号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种分压垫，设置在压力盘和陶瓷盘之间，包括垫片，垫片中心位置开设圆形贯穿孔，其一面与压力盘粘接固定，另一面开设多道横向沟槽和纵向沟槽，垫片还开设有去真空凹槽和通气孔，去真空凹槽穿过圆形贯穿孔，两个通气孔位于去真孔凹槽的两端槽体内，在垫片的中心位置掏孔，使压力盘底部两侧的晶片在抛光过程中受力集中，提高晶片的抛光精度和效果，同时将垫片粘接固定在压力盘上，并在垫片上开设横向沟槽和纵向沟槽，增加垫片与陶瓷盘和晶片的摩擦力度，避免垫片在工作高速旋转时发生位移，提高晶体的抛光精度和效果，并且在加工结束升起压力盘时，外界空气可通过通气孔进入到去真空槽内，避免压力盘在升起时将陶瓷盘带起。