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等离子清洗料盒

基本信息

申请号 CN201720962451.2 申请日 -
公开（公告）号 CN207068811U 公开（公告）日 2018-03-02
申请公布号 CN207068811U 申请公布日 2018-03-02
分类号 H01L21/67;H01L23/495 分类 基本电气元件;
发明人 黄迅驹;章建声 申请（专利权）人 浙江华越芯装电子股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 312000 浙江省绍兴市环城西路天光桥3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种等离子清洗料盒，包括在料盒侧边的开槽结构。本实用新型用料盒开槽结构实现专用料盒和流通料盒之间的直接切换，成本低、操作容易、效率高、使用方便、维护方便且品质稳定。