碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法
基本信息
| 申请号 | CN202210174634.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114242846B | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN114242846B | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L31/119（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 段志昱;杨帆;汤三奇;盛丽娜;贺琪;贾宁波;康丹妮;席守智 | 申请（专利权）人 | 陕西迪泰克新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 712000陕西省咸阳市西咸新区秦汉新城周陵新兴产业园区天工一路东段8号-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法，所述碲锌镉探测器的栅极钝化方法包括：对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理，在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层，将栅极露出；对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理，去除栅极的表面的富碲层，基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层，并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层；其中，第一厚度大于或等于第二厚度，第二厚度大于零。本发明处理工艺简单，能够在保护阳极的前提下实现对栅极的钝化处理，可有效降低碲锌镉探测器的漏电流，实现在较高的偏压下对碲锌镉探测器进行能谱测试，确保碲锌镉探测器达到较高的能谱分辨率。 |
