真空硒化装置和真空硒化的方法
基本信息
| 申请号 | CN201510712505.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105256285B | 公开（公告）日 | 2018-10-23 |
| 申请公布号 | CN105256285B | 申请公布日 | 2018-10-23 |
| 分类号 | C23C14/58;H01L31/032 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 常有军;黄福林;刘远宏 | 申请（专利权）人 | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 地址 | 063200 河北省唐山市曹妃甸工业区市政大厦5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种真空硒化装置和真空硒化的方法。该装置包括：本体，所述本体内限定出真空硒化空间；硒蒸汽回收单元，所述硒蒸汽回收单元设置在所述本体的内壁上；以及真空泵，所述真空泵设置在所述本体的外壁上，并且所述真空泵与所述硒蒸气回收单元相连。由此，可以将硒蒸汽回收单元与真空泵分开设置，进而可以避免对真空泵进行频繁的周期性清理维护，进而可以提高该装置的生产效率。 |
