一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201910579528.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110203876B | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN110203876B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | B81B1/00（2006.01）I;B81B7/04（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;G01N27/62（2021.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 邬建敏;陈晓明 | 申请（专利权）人 | 杭州汇健科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 | 代理人 | 金方玮 |
| 地址 | 310000 浙江省杭州市滨江区长河街道长河路475号3幢9层901室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测方法，检测方法，包括如下步骤：步骤一，制造硅纳米线芯片；将单晶硅片经表面洗涤预处理后经过金属辅助刻蚀、碱后刻蚀得到具有尖端的硅纳米线芯片；对硅纳米线芯片进行表面化学或纳米材料修饰；步骤二，硅纳米线芯片质谱性能评估；步骤三，顶端接触取样及原位离子化质谱检测；本发明充分利用硅纳米线芯片的纳米结构特性和半导体特性，将接触式萃取转印和免基质质谱检测集合于一体，大大简化了复杂样本的采集、预处理和检测过程；本发明制造出的硅纳米线芯片能够同时具备吸附、萃取功能与质谱检测功能，还能保留有空间异质性的样本的原位信息。 |
