一种垂直结构的MgZnO/ZnO日盲探测器
基本信息
| 申请号 | CN201910646981.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110335907B | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN110335907B | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | H01L31/0296（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 童潇 | 申请（专利权）人 | 广东光钛领先新材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海微策知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 523000 广东省东莞市寮步镇寮步松柏路310号1栋1005室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及日盲探测器的相关技术领域，更具体地，本发明提供了一种ZnO单晶作导电衬底的垂直型MgZnO/ZnO异质结日盲探测器及其制备方法。本发明的第一方面提供一种六方相日盲带隙的MgZnO薄膜，制备原料为MgxZnyO，x+y＝1,0.25≤x≤0.45，0.75≤y≤0.55。 |
