一种蒸发冷却微结构的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110479607.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113060701A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113060701A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 徐辉 | 申请（专利权）人 | 苏州华易航动力科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州乐赢知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王悦 |
| 地址 | 215400江苏省苏州市太仓市大连东路36号工业园区12号A3区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种蒸发冷却微结构的制备方法，包括以下步骤：在基片上表面电沉积一层第一金属，形成沉积层；将沉积层的表面进行精密抛磨，同时，保证一定厚度的沉积层；经抛磨后的沉积层表面涂覆一层光刻胶；将基片放置在光刻机载物台上，用曝光掩膜板进行曝光；将曝光处理后的基片放入显影液中进行显影，显影后进行清洗、干燥；干燥后基片的沉积层的表面沉积一层第二金属；再用溶剂对多余的光刻胶进行溶解；在光刻胶溶解的位置中加入刻蚀液，待溶解至指定位置倒掉多余的刻蚀液，再经清洗、干燥，得到微结构。本发明采用电沉积方法，实现高效、快速加工大面积的微结构，实现产业化生产；能够实现在同一个基片上同时加工出多个微结构。 |
