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一种低气压等离子体发生器的腔室气压校准方法及系统

基本信息

申请号 CN202111042766.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113670517A 公开（公告）日 2021-11-19
申请公布号 CN113670517A 申请公布日 2021-11-19
分类号 G01L27/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 孙金海 申请（专利权）人 北京环境特性研究所
代理机构 北京格允知识产权代理有限公司 代理人 王文雅
地址 100854北京市海淀区永定路50号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供了一种低气压等离子体发生器的腔室气压校准方法及系统。该方法包括：通过预设实验条件，测量低气压等离子体发生器腔室内的真实电子密度分布；其中，预设实验条件包括预设腔室气压；基于预设腔室气压，确定多个待输入腔室气压；将每一个待输入腔室气压及其它预设实验条件输入到预先构建好的仿真模型中，得到与该待输入腔室气压相对应的模拟电子密度分布；基于真实电子密度分布，在得到的多个模拟电子密度分布中确定出目标模拟电子密度分布，并将与目标模拟电子密度分布对应的待输入腔室气压作为腔室的气压。通过该方法可以精确校准等离子体发生器的腔室气压。