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一种用于碱背多晶黑硅片的清洗装置

基本信息

申请号 CN202121912410.5 申请日 -
公开（公告）号 CN215785526U 公开（公告）日 2022-02-11
申请公布号 CN215785526U 申请公布日 2022-02-11
分类号 B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 赵卫东;杨冬琴;蒋勇;周波;申忍 申请（专利权）人 江苏东鋆光伏科技有限公司
代理机构 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） 代理人 孙燕波
地址 214421江苏省无锡市江阴市华士镇海达路５８号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于碱背多晶黑硅片的清洗装置，涉及多晶黑硅片生产技术领域。本实用新型包括储液桶、支撑架和若干清洗盘，支撑架为中空圆环状架体结构，支撑架固定在储液桶外表面的上部，支撑架周侧面设有若干外凸壳，支撑架内底面通过回转支承转动连接有转圈。本实用新型通过设置吸附盘能够对硅片进行吸附固定，同时通过设置可旋转的吸附盘能够带动硅片进行转动，并且在清洗盘一侧设置喷头，能够实现离心清洗，能够有效提高硅片的清洗效率，同时设置多个清洗座，并且配置适配的传动机构，能够使用一个驱动电机同时控制多个吸附盘的旋转，从而大大提高清洗效率，并且具备节能的作用。