一种采用固态扩散方式制备的晶硅电池及其制备工艺
基本信息
申请号 | CN202010984354.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112133765B | 公开(公告)日 | 2022-02-18 |
申请公布号 | CN112133765B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
分类号 | H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 赵卫东;赵龙宝;王浩;沈溜海;李凉平;冯际令;李向华 | 申请(专利权)人 | 江苏东鋆光伏科技有限公司 |
代理机构 | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 孙燕波 |
地址 | 214421江苏省无锡市江阴市华士镇海达路58号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种采用固态扩散方式制备的晶硅电池及其制备工艺,包括晶硅片、减反层和正电极,所述晶硅片的正面设置有减反层,所述减反层的正面设置有正电极,所述晶硅片的背面设置有钝化层,所述钝化层的背面设置有背电极。本发明通过固态磷扩散的方式制备电池片,固态磷源片与晶硅片的平行且靠近,扩散均匀性较好,晶硅片形成的结深差异较小,同时相比于其他气态和液态系统以毒性化学掺杂物为原料,固态磷源片扩散时无毒性气体产生,也不会与其他材料剧烈反应、燃烧或助燃,使用安全性高,所制晶硅片良品率、均匀性、安全性更高,缺陷更少,有助于解决产能和均匀性不可兼得的矛盾,适合广泛推广与使用。 |
