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一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺

基本信息

申请号 CN202010423181.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111599892B 公开（公告）日 2022-02-11
申请公布号 CN111599892B 申请公布日 2022-02-11
分类号 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/0224（2006.01）I;H01L31/0236（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 赵卫东;刘旦生;鞠飞;王斯明;刘才广;江兴峰 申请（专利权）人 江苏东鋆光伏科技有限公司
代理机构 江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙） 代理人 孙燕波
地址 214421江苏省无锡市江阴市华士镇海达路５８号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺，选取金刚线切割得到的多晶硅片为基片，将基片依次放入硝酸、氢氟酸中进行清洗抛光，去除基片表面损伤层；再在基片正表面制备光刻掩膜层，再通过蒸汽制绒法制绒，接着在基片正表面通过POCL3液态扩散源热扩散法制备P‑N结，最后在基片正表面进行湿法刻蚀，镀减反射膜，印刷烧结，得到成品；本发明公开了一种通过金刚线切割硅片制备电池片的加工工艺，工艺设计合理，操作简单可控，选用金刚线切割的硅片作为基片进行加工，制备得到电学性能优异的电池片，从而提高太阳能电池的开路电压，短路电流及填充因子，提高转换效率，实现降本提效的目的，具有较高的实用性。