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宽角度宽波段增透膜及其制备方法和应用

基本信息

申请号 CN201710575811.8 申请日 -
公开（公告）号 CN109254332A 公开（公告）日 2019-01-22
申请公布号 CN109254332A 申请公布日 2019-01-22
分类号 G02B1/115 分类 光学;
发明人 丁佳轶;崔鹏程;解爽博 申请（专利权）人 翼芯红外传感技术（上海）有限公司
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁;郑暄
地址 201100 上海市闵行区江月路999号14号楼5层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种宽角度宽波段增透膜及其制备方法和应用，其中的应用为将宽角度宽波段增透膜镀于红外气体传感器光源的出光窗口，增加该红外气体传感器光源的出光窗口的透射率。该种宽角度宽波段增透膜，对入射角度在20°到50°范围内的光实现较好的增透效果，以ZnSe为衬底，在该ZnSe的上下表面镀有相同膜系，共八层，由氧化锌和冰晶石交替而成，制备中包含有如下准备工序：通过透射和反射谱测试，测算出ZnSe衬底、冰晶石和氧化锌层的折射率，借助光学膜系设计软件求出满足透射率要求的各层的厚度，并采用磁控溅射的方法制备多层膜系，还可在制备完成后通过测试样品的增透率来验证其是否满足设计要求。