一种蒸镀膜厚校准装置
基本信息
| 申请号 | CN202123176500.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216738501U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216738501U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 岳小非;王煦;蔡长生;张悦;戴雷;蔡丽菲 | 申请（专利权）人 | 四川阿格瑞新材料有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 620564四川省眉山市仁寿县视高街道腾飞大道三段1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蒸镀膜厚校准装置，包括水晶晶振片、振荡器、控制系统、电源、蒸发源、校准机构和蒸镀室；所述蒸发源和所述水晶晶振片均位于所述蒸镀室内，所述水晶晶振片位于所述蒸发源的上方；所述水晶晶振片与所述振荡器电性连接，所述振荡器与所述控制系统电性连接；所述校准机构与所述水晶晶振片连接，所述校准机构与所述控制系统电性连接，所述控制系统和所述蒸发源均与所述电源电性连接。本实用新型的蒸镀膜厚校准装置，能够调节水晶晶振片与蒸发源之间的距离，保证固定频率变化的量不变，进而保证实际计算的蒸镀速率不变，降低最终得到的实际膜厚的误差。 |
