一种拉拔模具沉积金刚石涂层的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201910316045.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110042361B | 公开（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申请公布号 | CN110042361B | 申请公布日 | 2021-03-23 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔玉明;李国华;姜龙;王少岩 | 申请（专利权）人 | 河北省激光研究所有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 李羡民;周晓萍 |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种拉拔模具沉积金刚石涂层的方法及装置，将待加工的拉拔模具放置到模具衬套组件内，将模具衬套组件放置到真空室的中部，将等离子炬设置在模具衬套组件的正上方，等离子体射流的径向面积大于待加工拉拔模具的内孔，沉积过程使等离子体射流穿过拉拔模具内孔，在拉拔模具内壁制备出厚度及粒度均匀的金刚石涂层。本发明可实现在不规则孔型的模具内壁制备出厚度及粒度均匀的金刚石涂层。本发明技术工艺稳定、不受模具孔型和孔径限制，制备出的金刚石涂层拉拔模具使用寿命和金刚石涂层纯度好，对降低生产成本，提高产品质量，尤其是在制备大孔径和不规则孔拉拔模具方面，具有独到的优势。 |
