可翻转承载装置
基本信息
| 申请号 | CN202022159569.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213570715U | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN213570715U | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | C23C14/50（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 段尧;邓荣斌;王念;张丽娟;鲁朝宇;段登辉;马兴民 | 申请（专利权）人 | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 昆明祥和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张亦凡 |
| 地址 | 650223云南省昆明市五华区教场东路31号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及超高真空成膜设备技术领域，具体为一种可翻转承载装置，该装置包括行星基片架、旋转机构和翻转机构，旋转机构设置在行星基片架上表面，旋转机构的垂直转轴设置于行星基片架中央，垂直转轴上端与伺服电机的转子联动，转子与垂直转轴间设置有电磁离合器；垂直转轴下端与扇形旋转架的圆心角处连接；扇形旋转架弧面上设置轮齿；翻转机构设置在行星基片架开孔处，翻转机构的固定夹为环形，固定夹上设置用于锁定基片的夹具；固定夹两侧设置翻转转轴，行星基片架开孔处设置对应的轴承，一侧翻转转轴上设置翻转齿轮，所述翻转齿轮与扇形旋转架啮合。该装置机械结构简单，后期便于维护，可以得到广泛的应用。 |
