基于光刻胶清洗机的滤网装置

基本信息

申请号 CN201920699252.6 申请日 -
公开(公告)号 CN210434140U 公开(公告)日 2020-05-01
申请公布号 CN210434140U 申请公布日 2020-05-01
分类号 B01D41/04 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 高树雄;杨丽丽;杨炜平;刘佰红;杜浩楠;殷艳娥;杨晓雪;梁翔;石春明;马跃霞 申请(专利权)人 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
代理机构 昆明祥和知识产权代理有限公司 代理人 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
地址 650223 云南省昆明市五华区教场东路31号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及光刻胶清洗设备技术领域,具体为一种基于光刻胶清洗机的滤网装置,包括伸缩臂、电动丝杆和杂质收集网:伸缩臂垂直布置,包括若干相互铰接的交叉单元,所述交叉单元包括中点处相互铰接的连接杆,各个连接杆的两端分别铰接在相邻的交叉单元上,位于顶部的一个连接杆铰接在光刻胶清洗机内,位于顶部的另一个连接杆与电动丝杆的推杆铰接,所述的电动丝杆水平安装在光刻胶清洗机内并接入电源,带动伸缩臂收缩或展开;所述杂质收集网固定在底部的交叉单元中点处。该装置能有效收集冲洗出的光刻胶和金属杂质。