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一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置

基本信息

申请号 CN201922399071.4 申请日 -
公开（公告）号 CN211497763U 公开（公告）日 2020-09-15
申请公布号 CN211497763U 申请公布日 2020-09-15
分类号 C23C14/24(2006.01)I 分类 -
发明人 鲁朝宇;张丽娟;邓荣斌;段尧;马兴民;方江璨;高思博 申请（专利权）人 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
代理机构 昆明祥和知识产权代理有限公司 代理人 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
地址 650223云南省昆明市五华区教场东路31号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，涉及真空蒸镀装置技术领域。用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板、材料仓和降温腔，所述基板的内部开设有材料仓，材料仓周围开设有降温腔，所述基板的底部设置有第一降温管、第二降温管和第三降温管，所述降温腔的内部开设有与第一降温管、第二降温管和第三降温管相适配的孔。适用于真空镀膜的衬底冷却装置，主要通过设置第一降温管内所通的高温水，对其所需要降温的材料进行小幅度的降温，其次，第二、三降温管进行缓慢的降温，对材料和坩埚起到了良好的保护作用，有效的避免了直接冷却降温对材料和坩埚本身造成的损害。