一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法

基本信息

申请号 CN202110118432.2 申请日 -
公开(公告)号 CN112935271A 公开(公告)日 2021-06-11
申请公布号 CN112935271A 申请公布日 2021-06-11
分类号 B22F9/22;B82Y40/00;B82Y30/00 分类 铸造;粉末冶金;
发明人 曲鹏;丁照崇;李利利;李勇军;贾倩;曹晓萌;冯昭伟;熊晓东;庞欣;滕海涛 申请(专利权)人 有研亿金新材料有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 陈波
地址 102200 北京市昌平区超前路33号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法,其包括:(a)以高纯度的仲钨酸铵为初始原料,将其溶解于低浓度氨水中得到钨酸铵溶液;(b)向上述得到钨酸铵溶液中加入表面活性剂,接着加入盐酸,经中和结晶得到钨酸铵前驱体;(c)将上述得到的钨酸铵前驱体煅烧得到泡沫状氧化钨;(d)氢气还原处理泡沫状氧化钨得到高纯微纳钨粉。本发明的制备方法所用的原料成本低,流动性好,工艺简单,制备的高纯微纳钨粉为团簇结构,纯度高于99.999%,与现有技术相比,所制备的高纯微纳钨粉的粒径尺寸显著更小,氧含量显著更低,能够满足微电子领域高端使用要求。