一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法
基本信息
申请号 | CN202110118432.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112935271A | 公开(公告)日 | 2021-06-11 |
申请公布号 | CN112935271A | 申请公布日 | 2021-06-11 |
分类号 | B22F9/22;B82Y40/00;B82Y30/00 | 分类 | 铸造;粉末冶金; |
发明人 | 曲鹏;丁照崇;李利利;李勇军;贾倩;曹晓萌;冯昭伟;熊晓东;庞欣;滕海涛 | 申请(专利权)人 | 有研亿金新材料有限公司 |
代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈波 |
地址 | 102200 北京市昌平区超前路33号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种团簇结构的高纯微纳钨粉的制备方法,其包括:(a)以高纯度的仲钨酸铵为初始原料,将其溶解于低浓度氨水中得到钨酸铵溶液;(b)向上述得到钨酸铵溶液中加入表面活性剂,接着加入盐酸,经中和结晶得到钨酸铵前驱体;(c)将上述得到的钨酸铵前驱体煅烧得到泡沫状氧化钨;(d)氢气还原处理泡沫状氧化钨得到高纯微纳钨粉。本发明的制备方法所用的原料成本低,流动性好,工艺简单,制备的高纯微纳钨粉为团簇结构,纯度高于99.999%,与现有技术相比,所制备的高纯微纳钨粉的粒径尺寸显著更小,氧含量显著更低,能够满足微电子领域高端使用要求。 |
