一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011617741.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113278932A | 公开（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申请公布号 | CN113278932A | 申请公布日 | 2021-08-20 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;B22D19/00（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C18/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹晓萌;丁照崇;李勇军;贾倩;李利利;曲鹏;杜文路;陈明;熊晓东;庞欣 | 申请（专利权）人 | 有研亿金新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄家俊 |
| 地址 | 102200北京市昌平区超前路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法。本发明公开的扩散焊接型AlSc合金靶材的制备方法，采用熔炼工艺成型，将配比好的合金熔液直接浇注在焊接面有燕尾槽并加镀层的背板上，另外一面通冷却水冷却，通过背板燕尾槽的结构设计，实现靶材近尺寸成型及与背板扩散焊接一体成型，最终AlSc合金靶材的焊合率≥99％，焊接强度≥10MPa。通过浇注一次成型扩散焊接靶材，减少繁琐的靶面成型及热等静压扩散焊接，大大降低成本，并利用背板焊接面加镀层，防止焊接面生成脆性相，得到焊接强度满足使用要求的产品。 |
