一种使用筒形背板的靶材组件
基本信息
| 申请号 | CN202022531818.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213977861U | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN213977861U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭姗姗;王焕焕;张巧霞;万小勇;滕海涛;康燕茹;肖长朋;关静 | 申请（专利权）人 | 有研亿金新材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄家俊 |
| 地址 | 102200北京市昌平区超前路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了属于金属剪切和焊接领域的一种使用筒形背板的靶材组件；其中上盖板和下底环分别与圆筒的上下端面焊接，靶面与上盖板的上端面焊接；下底环和机台部件均放置于机台基板上，机台部件位于上盖板、圆筒和下底环围成的筒状区域内，且机台部件和上盖板、圆筒、下底环之间均留有缝隙。本实用新型的筒形背板中的上盖板和下底环来源于同一块圆形坯料，再与圆筒通过焊接方式连接形成筒形背板。本实用新型极大地降低传统方法中因材料大量切削而造成的原料浪费，提高了材料利用率；且适用于各种尺寸的筒形背板的制备，适用范围广。 |
