一种靶材与背板的高性能焊接方法

基本信息

申请号 CN202110290361.4 申请日 -
公开(公告)号 CN113084289A 公开(公告)日 2021-07-09
申请公布号 CN113084289A 申请公布日 2021-07-09
分类号 B23K1/008(2006.01)I;B23K1/20(2006.01)I 分类 机床;不包含在其他类目中的金属加工;
发明人 徐国进;罗俊锋;朱孜毅;张巧霞;丁照崇;李勇军;滕海涛;庞欣;熊晓东;冯昭伟 申请(专利权)人 有研亿金新材料有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 李全旺
地址 102200北京市昌平区超前路33号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种靶材与背板的高性能焊接方法,通过真空焊接技术,设计合理的焊接面排气花纹,克服常规焊接方法无法排除焊接面气体及焊料氧化膜混入的问题,对于高温焊接具有较大的优势,避免了高温焊接过程中焊料的氧化,同时,背板及靶材也得到保护,避免高温操作风险,操作简单,焊合率达到99%以上,局部最大未焊合率≤0.5%;本发明的焊接方法,克服了常规钎焊焊接方法焊接变形大问题,降低了靶材的焊接应力,焊接后靶材平面度≤0.5mm,通过后续调平技术,可保证靶材成品的厚度均匀性,提高靶材的性能;本发明的焊接方法,一炉可同时加工多块靶材,提高了生产效率,消除了焊接过程中人为因素的影响,可实现靶材焊接的批量化生产,稳定一致性高。