一种刻蚀装置及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201610752656.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106328512A | 公开（公告）日 | 2017-01-11 |
| 申请公布号 | CN106328512A | 申请公布日 | 2017-01-11 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨泽新 | 申请（专利权）人 | 贵州乾萃科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李进 |
| 地址 | 563000 贵州省遵义市新蒲经济开发区办公室二楼202室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种刻蚀装置及其使用方法。本发明刻蚀装置包括1个或多个刻蚀槽和过滤槽；所述过滤槽中设有过滤装置；所述过滤槽分别与每个刻蚀槽通过管路相连；所述过滤槽与循环装置通过管路相连，所述循环装置分别与每个刻蚀槽通过管路相连。本发明刻蚀装置通过循环装置，使刻蚀液循环流动，仅清理过滤槽中的废渣即可。本发明刻蚀装置具有结构简单，可循环利用刻蚀液，能够提高生产效率和刻蚀液的利用效率等优点。本发明刻蚀装置的使用方法简单，可连续进行刻蚀工艺，能够提高生产效率和刻蚀液的利用效率。 |
